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“Speed系列"高速压电位移台——LS50x.Speed
产品特色
· 静*运动
· 高运动速度
· 闭环运动控制
· 纳米级分辨率
产品图片&尺寸

产品参数
1 | 可选版本 | .NM,绝**磁版本; .HV,高真空版本; .UHV,超高真空版本; |
2 | 外形尺寸 | 50 × 50 × 14 mm |
3 | 主体材料 | 标准版 铝合金,钢:120 g;.HV/.UHV:钛,钢:150 g;.NM 钛,陶瓷:130 g |
4 | 运动行程 | 24 mm |
5 | 速度范围 | 默认:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s |
6 | 驱动力 | 2 N |
7 | 保持力 | 3 N |
8 | 水平方向使用*大负载 | 2 kg |
9 | 竖直方向使用*大负载 | 100 g |
10 | 双向重复定位精度 | ± 250 nm |
11 | 全行程俯仰/偏摆 | 0.3 mrad |
12 | 最小步伐(开环) | 50 nm |
13 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 |
14 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
15 | 线缆 & 接头 | 默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK) |
16 | 控制器规格 | MC-Doppler系列 |
“Speed系列"线性位移台——LS65x.Speed
产品特色
· 静*运动
· 高运动速度
· 闭环运动控制
· 纳米级分辨率
产品图片&尺寸

产品参数
1 | 可选版本 | .NM,绝**磁版本; .HV,高真空版本; .UHV,超高真空版本; |
2 | 外形尺寸 | 65 × 65 × 15 mm |
3 | 主体材料 | 标准版 铝合金,钢:200 g;.HV/.UHV:钛,钢:270 g;.NM 钛,陶瓷:240 g |
4 | 运动行程 | 30 mm |
5 | 速度范围 | 默认:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s |
6 | 驱动力 | 3 N |
7 | 保持力 | 4 N |
8 | 水平方向使用*大负载 | 3 kg |
9 | 竖直方向使用*大负载 | 150 g |
10 | 双向重复定位精度 | ± 250 nm |
11 | 全行程俯仰/偏摆 | 0.3 mrad |
12 | 最小步伐(开环) | 50 nm |
13 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 |
14 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
15 | 线缆 & 接头 | 默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK) |
16 | 控制器规格 | MC-Doppler系列 |
“Speed系列"线性位移台——LS105x.Speed
产品特色
· 静*运动
· 高运动速度
· 闭环运动控制
· 纳米级分辨率
产品图片&尺寸

产品参数
1 | 可选版本 | .NM,绝**磁版本; .HV,高真空版本; .UHV,超高真空版本; |
2 | 外形尺寸 | 105 × 105 × 20 mm |
3 | 主体材料 | 标准版 铝合金,钢:660 g;.HV/.UHV:钛,钢:960 g;.NM 钛,陶瓷:910 g |
4 | 运动行程 | 60 mm |
5 | 速度范围 | 默认:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s |
6 | 驱动力 | 4 N |
7 | 保持力 | 5 N |
8 | 水平方向使用*大负载 | 5 kg |
10 | 双向重复定位精度 | ± 250 nm |
11 | 全行程俯仰/偏摆 | 0.2 mrad |
12 | 最小步伐(开环) | 50 nm |
13 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 |
14 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
15
| 线缆 & 接头 | 默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK) |
16 | 控制器规格 | MC-Doppler系列 |
“Speed系列"旋转位移台 — RS65.Speed
产品特色
· 高扭矩
· 高转速
· 闭环控制,内置光栅位置传感器
· 空间紧凑
产品图片&尺寸

产品参数
1 | 可选版本 | .NM,绝**磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本 |
2 | 外形尺寸 | 65 × 65 × 25 mm |
3 | 主体材料 | 标准版 /.NM 铝合金:330 g;.HV/.UHV 钛合金:360 g |
4 | 运动行程 | 360° |
5 | 速度范围 | 默认:60 °/s ~ 720 °/s;.HV & .UHV 版本:推荐使用 60 °/s |
6 | *大负载 | 2 kg |
7 | 额定力矩 | 0.5 N·m |
8 | *大力矩 | 0.8 N·m |
9 | 保持力矩 | 0.8 N·m |
10 | 最小步伐 | 15 μrad |
11 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 |
12 | 位置传感器分辨率 | 1 μrad |
13 | 线缆 & 接头 | 默认:屏蔽线缆 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包线,D–Sub15 (PEEK) |
14 | 控制器规格 | MC–Doppler 系列 |
“Speed系列"旋转位移台 — RS105.Speed
产品特色
· 高扭矩
· 高转速
· 闭环控制,内置光栅位置传感器
产品图片&尺寸

产品参数
1 | 可选版本 | .NM,绝**磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本 |
2 | 外形尺寸 | 105 × 135 × 23 mm |
3 | 主体材料 | 标准版 /.NM 铝合金:800 g;.HV/.UHV 钛合金:1 kg |
4 | 运动行程 | 360° |
5 | 速度范围 | 默认:1.3 °/s ~ 360 °/s;.HV & .UHV 版本:推荐使用 36 °/s |
6 | *大负载 | 5 kg |
7 | 额定力矩 | 0.4 N·m |
8 | *大力矩 | 0.6 N·m |
9 | 保持力矩 | 0.6 N·m |
10 | 最小步伐 | 0.75 μrad |
11 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 |
12 | 位置传感器分辨率 | 1 μrad |
13 | 线缆 & 接头 | 默认:屏蔽线缆 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包线,D–Sub15 (PEEK) |
14 | 控制器规格 | MC–Doppler 系列 |
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