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S系列集成单轴--三轴的紧凑型压电扫描台:·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向 ·亚纳米级位置分辨率·内置电容传感器,闭环控制 ·长行程运动范围 ·直接位置检测
S100/200/300.X & S500.X
生产厂家
2026-04-03
122
大范围线性运动中空扫描台:超安静运动 纳米级分辨率 ·全行程运动中,保证通孔·XY一体式组合结构·内置高精度光学位置传感器 ·断电位置自保持 ·可与高精度压电扫描台堆叠组合
Carrier系列
生产厂家
2026-04-03
130
三自由度并联运动台:超安静运动 ·纳米级分辨率 ·断电位置自保持 ·并联驱动结构 ·内置高精度光学位置传感器 灵活的可定制方案
Free3D.ZTxTy.070
生产厂家
2026-03-06
332
六自由度并联运动台:超安静运动 纳米级分辨率 ·断电位置自保持·内置高精度光学位置传感器 并联驱动结构 高刚性系统
Free6D.3-2.070
生产厂家
2026-03-06
328
长行程线性位移台:超安静运动 ·纳米级分辨率 断电位置自保持内置高精度光学位置传感器 ·多种行程规格
Indus系列
生产厂家
2026-03-04
276

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